在目前的半导体、制药等行业的制造工艺操作中，包括ALD, CVD 和PVD 设备，对高纯度金属化合物的液位的精准测量非常重要。用来检测该液位的传感器必须很卫生，不能有碎片，污染源，而且也不能像浮球技术一样的有可能被卡住。还有这些化合物本身的物理特性，如气泡，雾气等也要不能对传感器的性能有任何影响。
解决办法：
    由集晟机电代理的美国原厂生产的SL-900系列“tube-in-tube” 型超声波液位传感器就是专门针对此高要求而设计研发的，现已大量供给欧美、新加坡、韩国、日本、台湾、中国大陆等半导体和制药等行业的的金属化合物厂家做为其容器的重要部件。
    该产品由放大模块，316L不锈钢传感器和延长线组成。没有可移动部件，非常小的机身，对被测化合物没有介质、粘度、颜色、密度的要求。经验证明可以完美检测的化合物有：DMAH, TAETO, CVD, TDEAT, CUTMUS, TEOS, DCE, TCA，精度可达2m。 SL-900系列还可根据客户容器不同的尺寸和不同报警点的要求订制，实现多点检测（最高可达8个点）。